当ASML的工程师们还在为EUV光刻机的锡液滴调试发愁，中科院的实验室突然甩出一记”激光闷棍”——全球首台全固态深紫外光刻光源横空出世！这玩意儿不用氩气不烧氟气，直接拿晶体和激光玩”混搭”，193纳米波长对着ASML的专利墙就是一脚。今天咱们掀开光刻机的铁盖子，看看中国人怎么用”物理外挂”捅破半导体霸权天花板！
固态DUV：燃油车撞上电动车
ASML那套祖传手艺大伙儿都熟——拿氩气和氟气在高压电里噼里啪啦炸出193纳米光，跟烧柴油的老卡车似的，动静大还费钱。中科院这回直接掏出”新能源方案”：Yb:YAG晶体当电池，1030纳米红外光分两路，一路压到258纳米，另一路拉到1553纳米，最后在硼酸锂晶体里”鸳鸯锅”一涮，193纳米深紫外光滋滋往外冒。别看现在功率才70毫瓦，跟ASML的120瓦比像蚊子撞大象，可架不住咱这技术安静省电还环保啊！就像电动车刚出来那会儿，特斯拉功率还不如拖拉机，现在不照样把燃油车干趴下？
付费会员1、本文只代表作者个人观点，不代表星火智库立场，仅供大家学习参考； 2、如若转载，请注明出处：https://www.xinghuozhiku.com/508291.html